国标即将实施
GB/T 43894.3-2026
半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR）
起草单位（9 家）
山东有研半导体材料有限公司牵头杭州中欣晶圆半导体股份有限公司金瑞泓微电子（嘉兴）有限公司西安奕斯伟材料科技股份有限公司广东天域半导体股份有限公司浙江晶越半导体有限公司上海晶盟硅材料有限公司郑州合晶硅材料有限公司深圳中科飞测科技股份有限公司
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