国标现行
GB/T 43493.1-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类
起草单位（18 家）
河北半导体研究所（中国电子科技集团公司第十三研究所）牵头山东天岳先进科技股份有限公司之江实验室浙江大学中国电子科技集团公司第四十六研究所中国科学院半导体研究所中电化合物半导体有限公司广东天域半导体股份有限公司ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司山西烁科晶体有限公司河北普兴电子科技股份有限公司深圳创智芯联科技股份有限公司深圳市晶扬电子有限公司广州弘高科技股份有限公司常州臻晶半导体有限公司深圳超盈智能科技有限公司深圳市星汉激光科技股份有限公司中微半导体（上海）有限公司
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