团标现行
T/CASAS 036—2025
碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法
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赛迈科先进材料股份有限公司牵头北京北方华创微电子装备有限公司湖南三安半导体有限责任公司山东天岳先进科技股份有限公司山西烁科晶体有限公司山东大学中国科学院半导体研究所中电化合物半导体有限公司杭州海乾半导体有限公司北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
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