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团标现行
T/CASME 1520—2024
半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
发布团体/单位中国中小商业企业协会
发布日期2024-06-04
实施日期2024-06-20

起草单位（3 家）

安徽高芯众科半导体有限公司牵头苏州高芯众科半导体有限公司合肥高芯众科材料科技有限公司
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