团标现行
T/CASME 2085—2025
碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范
起草单位（13 家）
湖南泰坦未来科技有限公司牵头南通三责精密陶瓷有限公司成都方大炭炭复合材料股份有限公司哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司湖南奕嘉新材料有限公司宁夏东方钽业股份有限公司湖南金欣科技有限公司苏州清研半导体科技有限公司广东广晟稀有金属光电新材料有限公司广东天域半导体股份有限公司华科盈飞（北京）数智科技有限公司华兴中科标准技术（北京）有限公司通标国华标准技术咨询（北京）有限公司
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