团标现行
T/CI 512—2024
硅基厚金属膜电镀工艺技术规范
起草单位(11 家)
清华大学牵头东南大学上海交通大学启元实验室中国航天科技集团公司九院704所淄博高新技术产业开发区MEMS研究院广州天极电子科技股份有限公司深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司苏州厚朴传感科技有限公司北京旺凡科技有限公司北京高科中创科学技术中心
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