团标现行
T/CNIA 0287—2025
半导体洁净室 空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法
起草单位（15 家）
TCL中环新能源科技股份有限公司牵头四川永祥能源科技有限公司山东有研半导体材料有限公司洛阳中硅高科技有限公司珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司江苏鑫华半导体科技股份有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司中环领先半导体科技股份有限公司上海新昇半导体科技有限公司青海芯测科技有限公司新特能源股份有限公司青岛盛瀚色谱技术有限公司杭州中欣晶圆半导体股份有限公司上海晶盟硅材料有限公司江苏环鑫半导体有限公司
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