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半导体单晶材料透过率测试方法 主要起草单位
碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 起草单位
碳化硅单晶片微管密度测试方法 主要起草单位
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法 主要起草单位
碳化硅晶体材料缺陷图谱 起草单位
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法 主要起草单位
半导体单晶晶向测定方法 主要起草单位
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 主要起草单位
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 主要起草单位
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